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製品案内 | |||||||||
製品型式 | IDS-010 | IDS-025 | IDS-050 | IDS-100 | |
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適用流体 | 乾燥空気,N2,Ar,CO2
(空気の品質等級はJIS B8392-1 1.1.2~1.6.2、ISO8573-1 1.1.2~1.6.2) |
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定格流量範囲 (流量レンジ) |
乾燥空気,N2,Ar | 0.2~10L/min | 0.5~25L/min | 1~50L/min | 2~100L/min |
CO2 | 0.2~5L/min | 0.5~12.5L/min | 1~25L/min | 2~50L/min | |
表示可能範囲 | 乾燥空気,N2,Ar | 0.2~10.5L/min | 0.5~26.3L/min | 1~52.5L/min | 2~105L/min |
CO2 | 0.2~5.2L/min | 0.5~13.1L/min | 1~26.2L/min | 2~52L/min | |
設定可能範囲 | 乾燥空気,N2,Ar | 0.2~10.5L/min | 0.5~26.3L/min | 1~52.5L/min | 2~105L/min |
CO2 | 0.2~5.2L/min | 0.5~13.1L/min | 1~26.2L/min | 2~52L/min | |
設定最小単位 | 0.01L/min | 0.1L/min | 0.1L/min | 0.1L/min | |
積算パルスの流量換算値 | 0.1L/Pulse | 0.1L/Pulse | 0.1L/Pulse | 1L/Pulse | |
表示単位 | 瞬時流量:L/min 積算流量:L | ||||
表示単位基準 | 標準状態、基準状態 | ||||
精度 | ±3%F.S以下(乾燥空気にて) アナログ出力:±5%F.S以下 | ||||
繰り返し精度 | ±1%F.S以下(乾燥空気にて) アナログ出力:±3%F.S以下 | ||||
圧力特性 | ±5%F.S以下(0.35MPa基準) | ||||
温度特性 | ±2%F.S(15~35℃) ±5%F.S(0~50℃) | ||||
使用圧力範囲 | -70kPa~750kPa | ||||
耐圧力 | 1MPa | ||||
積算流量範囲 | 最大999999L | ||||
スイッチ出力 | NPNオープンコレクタ出力 | ||||
最大負荷電流 | 80mA | ||||
最大印加電圧 | DC28V | ||||
内部降下電圧 | NPN出力:1V以下(80mA時) | ||||
応答時間 | 1s(50ms,0.5s,2sを選択可能) | ||||
出力保護 | 短絡保護 | ||||
積算パルス出力 | NPNオープンコレクタ出力(スイッチ出力と同じ) | ||||
アナログ出力 | 応答時間 | 1.5s以下(90%応答) | |||
電圧出力 | 出力電圧:1~5V 出力インピーダンス:1kΩ | ||||
応差 | ヒステリシスモード | 可変 | |||
ウインドコンパレータモード | 可変 | ||||
外部入力 | 無電圧入力(有接点または無接点) 入力30ms以上 | ||||
表示方式 | 3桁7セグメント表示器 2色表示(赤色/緑色) | ||||
電源電圧 | AC100V | ||||
消費電流 | 0.42A | ||||
配管口径(入口/出口共) | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc1/4 | Rc3/8 | |
質量 | 約1.2kg | ||||
耐環境 | 保護構造 | IP40 | |||
使用流体温度 | 0~50℃(氷結および結露なきこと) | ||||
使用温度範囲 | 0~50℃(氷結および結露なきこと) | ||||
使用湿度範囲 | 35~85%R.H.(結露なきこと) |